MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) sind winzige mechanische Strukturen, die auf einem integrierten Schaltkreis angebracht sind. Sie werden in vielen Anwendungen eingesetzt, darunter in der Medizintechnik, der Automobilindustrie und der Kommunikationstechnik. MEMS sind kostengünstig, energieeffizient und können komplexe Funktionen ausführen. Sie sind eine Schlüsseltechnologie für die Entwicklung von intelligenten Geräten und Systemen.